在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜功用的一個重要因素。因此,當點評某薄膜樣品的功用時,需求檢測該薄膜樣品不同厚度下的功用。對于真空鍍膜的情形,這往往需求進行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個問題:,不同次生長的樣品,儀器的狀況不同,以至于影響薄膜樣品功用的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜試驗裝取樣品需求重新進行真空的獲得,十分耗時。增加了出產(chǎn)和檢測的本錢。
多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng),由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造,使整個薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。
眾所周知,真空鍍膜機的運行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運行,有必要對真空鍍膜機進行維護。那么,你知道真空鍍膜機維護的意義嗎? 設(shè)備的日常維護就是發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)中的異?,F(xiàn)象,盡早解決。如果發(fā)現(xiàn)機械泵的油量減少,應該添加。不要認為應該定期換油。否則,在進行維護時,泵的轉(zhuǎn)子可能會嚴重磨損。比如有些軸承工件被夾住,就要更換軸承;否則壞了,問題就嚴重了,可能會出現(xiàn)電機燒毀等問題。